Thin film diffusion barrier formation in PDMS microcavities
- Riaz, A.
- Gandhiraman, R.P.
- Dimov, I.K.
- Basabe-Desmonts, L.
- Ricco, A.J.
- Ducrée, J.
- Daniels, S.
- Lee, L.P.
Actes:
TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
ISBN: 9781424441938
Any de publicació: 2009
Pàgines: 1051-1054
Tipus: Aportació congrés